AMASS

特点

AMASS 的主要特点

AMASS Basic 具有除仿真和自动拟合以外的所有功能。

• 全新的直观图形用户界面。
• 以项目为导向的文档格式可用于存储、检索和管理工作会话的所有信息，包括打开的扫描、仿真数据、设定的所有参数以及使用的材料参数。
• 单次扫描、区域图和晶片图的图形显示。
• 可以合并 1 轴和 2 轴数据集。
• 可通过 2 轴扫描进行投影并提取数据，然后生成 1 轴扫描以供进一步分析。
• 可在 1 轴（例如摇摆曲线）和 2 轴（例如倒易空间图）数据中进行自动峰值搜索。
• 可对基片、多层和边缘进行自动峰值标记。
• 可在 2 轴数据的标记峰值位置进行自动水平和垂直线提取。
  
• 支持任何空间群的材料。
• 样品结构包括梯度、超晶格和相关参数。
• 软件可以从标记的峰值位置中提取应力和张驰度、系数差异和成分、基片空切方向和曲率、层镶嵌块分布和横向相关性长度、厚度和超晶格周期等数据。
• 通过镜面反射率数据确定厚度时，采用的是傅里叶和直接方法。
• 通过分析任意一组扫描类型，可以创建晶片图。此类分析包括对峰值参数进行分析、通过峰值位置进行分析，以及对自动拟合（如果此选项可用）进行分析。
• AMASS 支持的数据格式包括 XRDML 格式、简单的 ASCII 格式 (*.asc) 以及旧式 Philips 格式（*.dnn、*.xnn、*.ann 和 *ynn）。
• 可自定义的结果报告。支持 PDF、RTF、XML 和 HTML 报告。
• 所有分析均可使用一个命令行界面实现完全自动化。在通过 APP（自动处理程序）进行控制时，可以对从测量到结果报告的整个过程实现自动化。
• 组件对象模型 (COM) 接口允许通过 Phyton^TM 或 Matlab^® 等应用程序来操作 AMASS 功能。
  
• 两种拟合算法可供选择：允许用户根据独特的拟合要求对软件进行定制。（仅作为选项提供）
• 针对给定样品模型的每个参数，都能可靠地进行分析。通过执行此分析，可以测量已优化参数的可靠程度。（仅作为选项提供）。
• HR 选项：
  • 将仿真摇摆曲线拟合到测量的数据
  • 分层可以相对于下层进行部分驰豫。
  • 完全支持纤锌矿结构的非偏振 a 面和 m 面方向。
• XRR 选项：
  • 将仿真反射曲线拟合到测量的数据。
  • 模型中的参数可以包括具有晶格参数或密度梯度的参数，并有五种梯度类型可供选择。
  • 针对非镜面分析提供了三种界面粗糙度模型：分形、阶梯形和齿形。
  • 可以显示并模拟非镜面（漫射）散射数据（omega、2theta 和 offset omega/2theta 扫描）。该软件可以模拟共面 Qx、Qz 以及非共面 Qx、Qy 倒易空间图。

材料数据库 

丰富的材料数据库包含摇摆曲线分析、晶片映射、仿真及拟合中需要使用的所有材料数据：某些选定氧化物的晶胞参数、泊松比和单晶刚度系数，以及所有常见正方复式半导体材料，外加六方 GaN、AlN 和 InN。此外，它还包含元素原子序数和质量，及其在不同固定 X 射线波长下的质量吸收和异常色散系数。通过添加任何空间群的新结构以及其他波长的材料和值，可以对此数据库进行扩展。可以从结晶信息文件 (CIF) 中导入晶体结构信息和材料。

用户文档

《应用指南》旨在帮助您快速有效地使用 AMASS。在 12 个主题中，每一个都提供了工作实例。这些实例经过精选，可以展示 AMASS 的最重要功能。 

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技术指标

当前版本	2.0